基本信息
书名:半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册
定价:170.00元
作者:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料
出版社:中国标准出版社
出版日期:2014-11-01
ISBN:9787506677530
字数:
页码:
版次:1
装帧:平装
开本:大16开
商品重量:0.4kg
编辑推荐
内容提要
半导体材料是指介于金属和绝缘体之间的电导率为10-3Ω·cm~108Ω·cm的一种具有极大影响力的功能材料,广泛应用于制作晶体管、集成电路、电力电子器件、光电子器件等领域,支撑着通信、计算机、信息家电、网络技术、国防军工以及近年来兴起的光伏、LED等行业的发展。半导体材料及其应用已成为现代社会各个领域的核心和基础。
目录
YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法
YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法
YS/T 34.1-2011 高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量
YS/T 34.2-2011 高纯砷化学分析方法 极谱法测定硒量
YS/T 34.3-2011 高纯砷化学分析方法 极谱法测定硫量
YS/T 35-2012 高纯锑化学分析方法 镁、锌、镍、铜、银、镉、铁、硫、砷、金、锰、铅、铋、硅、硒含量的测定 高质量分辨率辉光放电质谱法
YS/T 37.1-2007 高纯二氧化锗化学分析方法 硫氰酸汞分光光度法测定氯量
YS/T 37.2-2007 高纯二氧化锗化学分析方法 钼蓝分光光度法测定硅量
YS/T 37.3-2007 高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定砷量
YS/T 37.4-2007 高纯二氧化锗化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法测定镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷量
YS/T 37.5-2007 高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定铁量
YS/T 38.1-2009 高纯镓化学分析方法 部分:硅量的测定 钼蓝分光光度法
YS/T 38.2-2009 高纯镓化学分析方法 第2部分:镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 226.1-2009 硒化学分析方法 部分:铋量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法
YS/T 226.2-2009 硒化学分析方法 第2部分:锑量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法
YS/T 226.3-2009 硒化学分析方法 第3部分:铝量的测定 铬天青S-溴代十六烷基吡啶分光光度法
YS/T 226.4-2009 硒化学分析方法 第4部分:汞量的测定 双硫腙-四氯化碳滴定比色法
YS/T 226.5-2009 硒化学分析方法 第5部分:硅量的测定 硅钼蓝分光光度法
YS/T 226.6-2009 硒化学分析方法 第6部分:硫量的测定 对称二苯氨基脲分光光度法
YS/T 226.7-2009 硒化学分析方法 第?部分:镁量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 226.8-2009 硒化学分析方法 第8部分:铜量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 226.9-2009 硒化学分析方法 第9部分:铁量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 226.10-2009 硒化学分析方法 0部分:镍量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 226.11-2009 硒化学分析方法 1部分:铅量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 226.12-2009 硒化学分析方法 2部分:硒量的测定 硫代钠容量法
YS/T 226.13-2009 硒化学分析方法 3部分:银、铝、砷、硼、汞、铋、铜、镉、铁、镓、铟、镁、镍、铅、硅、锑、锡、碲、钛、锌量的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 227.1-2010 碲化学分析方法 部分:铋量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法
YS/T 227.2-2010 碲化学分析方法 第2部分:铝量的测定 铬天青S-溴代十四烷基吡啶胶束增溶分光光度法
YS/T 227.3-2010 碲化学分析方法 第3部分:铅量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 227.4-2010 碲化学分析方法 第4部分:铁量的测定 邻菲哕啉分光光度法
YS/T 227.5 2010 碲化学分析方法 第5部分:硒量的测定 2,3-=氨基萘分光光度法
YS/T 227.6-2010 碲化学分析方法 第6部分:铜量的测定 固液分离-火焰原子吸收光谱法
YS/T 227.7-2010 碲化学分析方法 第7部分:硫量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
YS/T 227.8-2010 碲化学分析方法 第8部分:镁、钠量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 227.9-2010 碲化学分析方法 第9部分:碲量的测定 重铬酸钾-亚铁铵容量法
YS/T 227.10-2010 碲化学分析方法 0部分:砷量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法
YS/T 227.11-2010 碲化学分析方法 1部分:硅量的测定 正丁醇萃取硅钼蓝分光光度法
YS/T 227.12 2011 碲化学分析方法 2部分:铋、铝、铅、铁、硒、铜、镁、钠、砷量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
YS/T 229.1-2013 高纯铅化学分析方法 部分:银、铜、铋、铝、镍、锡、镁和铁量的测定化学光谱法
YS/T 229.2-2013 高纯铅化学分析方法 第2部分:砷量的测定 原子荧光光谱法
YS/T 229.3-2013 高纯铅化学分析方法 第3部分:锑量的测定 原子荧光光谱法
YS/T 229.4-2013 高纯铅化学分析方法 第4部分:痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
YS/T 276.1-2011 铟化学分析方法 部分:砷量的测定 氢化物发生-原子荧光光谱法
YS/T 276.2-2011 铟化学分析方法 第2部分:锡量的测定 苯基荧光酮-溴代十六烷基三甲胺分光光度法
YS/T 276.3-2011 铟化学分析方法 第3部分:铊量的测定 甲基绿分光光度法
YS/T 276.4-2011 铟化学分析方法 第4部分:铝量的测定 铬天青S分光光度法
YS/T 276.5-2011 铟化学分析方法 第5部分:铁量的测定 方法1:电热原子吸收光谱法方法2:火焰原子吸收光谱法
YS/T 276.6-2011 铟化学分析方法 第6部分:铜、镉、锌量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 276.7-2011 铟化学分析方法 第7部分:铅量的测定 火焰原子吸收光谱法
YS/T 276.8-2011 铟化学分析方法 第8部分:铋量的测定 方法1:氢化物发生-原子荧光光谱法 方法2:火焰原子吸收光谱法
YS/T 276.9-2011 铟化学分析方法 第9部分:铟量的测定 Na2 EDTA滴定法
YS/T 276.10-2011 铟化学分析方法 0部分:铋、铝、铅、铁、铜、镉、锡、铊量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
YS/T 276.11-2011 铟化学分析方法 1部分:砷、铝、铅、铁、铜、镉、锡、铊、锌、铋量的测定电感耦合等离子体质谱法
YS/T 519.1-2009 砷化学分析方法 部分:砷量的测定 溴酸钾滴定法
YS/T 519.2-2009 砷化学分析方法 第2部分:锑量的测定 孔雀绿分光光度法
YS/T 519.3-2009 砷化学分析方法 第3部分:硫量的测定 钡重量法
YS/T 519.4-2009 砷化学分析方法 第4部分:铋、锑、硫量的测定 电感耦合等离子体原子发
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作者介绍
文摘
序言
我近期深入研读了《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》,这本书的实用性超出了我的预期。作为一名资深的材料工程师,我深知标准化方法在半导体材料研发和生产中的核心作用。尤其是在涉及多方合作、质量认证以及产品可靠性评估时,一套统一、权威的方法标准是不可或缺的。这本书精准地抓住了这个关键点,它系统地收录了2014年行业内认可的,关于半导体材料的各种方法标准。我特别欣赏它在具体操作层面的细致描述。例如,书中关于薄膜厚度测量的各种方法,如椭圆偏振光谱法、原子力显微镜法、以及X射线衍射法等,都给出了详细的原理介绍、设备要求、样品制备指南、以及数据解读方法。这对于我们在进行新工艺开发时,选择最合适的测量手段,并确保测量结果的准确性和一致性,提供了极大的帮助。我经常遇到这样的情况:不同的实验室、不同的设备,即使是同一个测试项目,也可能得出略有差异的结果。而这本书提供的正是解决这种问题的钥匙,它能够帮助我们统一测量标准,减少不必要的争议,从而提高整个团队的工作效率。这本书不仅仅是一本资料,它更像是一部“方法论”的百科全书,为我们提供了解决实际问题的有力武器,是任何一家致力于半导体材料研究和生产的企业都应该拥有的宝贵资源。
评分我最近对《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》这本书进行了深入的阅读,它为我提供了一个全新的视角来理解半导体材料的标准。一直以来,我对于“标准”的理解更多地停留在最终的性能指标上,而忽略了支撑这些指标的“方法”。这本书的价值在于,它将重点放在了“方法”上,详细地列出了2014年行业内普遍采用的,用于评估半导体材料各种属性的标准方法。我非常看重书中对各种测试方法的操作细节和注意事项的描述。比如,书中关于半导体材料中的杂质含量分析,详细介绍了不同光谱分析技术的原理、样品制备要求、以及数据采集和处理的步骤。这对于我这样需要在实际工作中进行精确的材料成分分析的人来说,具有非常高的参考价值。我曾遇到过这样的困境:在评估供应商提供的材料时,由于对测试方法理解不深,常常难以辨别报告的准确性。而有了这本书,我可以对照标准方法,更有效地理解和评估这些报告。这本书不仅仅是一份技术性的汇编,它更像是一部“操作指南”,帮助我们能够更严谨、更科学地进行半导体材料的评估和研究,从而推动整个行业的进步。
评分我最近对《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》进行了详细的审阅,这本书在方法标准层面给我留下了深刻的印象。在我看来,标准的价值不仅仅在于规定“是什么”,更在于阐述“怎么做”,而这本书正是聚焦于后者。作为一名长期从事半导体器件失效分析的工程师,我深知准确、可重复的材料表征方法对于定位失效根源至关重要。书中关于半导体材料的各种性能检测方法,从电学参数的测试(如载流子浓度、迁移率、导电类型等),到光学特性的测量(如光谱吸收、荧光发射等),再到结构缺陷的表征(如晶格缺陷、表面形貌等),都给出了非常详尽和可操作的指导。我尤其看重书中对于不同材料体系(如硅、化合物半导体、宽禁带半导体等)在方法上的差异化处理。比如,对于III-V族化合物半导体,书中详细介绍了在制备和测试过程中需要注意的特殊事项,这对于我处理这类材料时避免误判和提高分析效率起到了很大的作用。我曾遇到过一个棘手的器件失效案例,经过多方排查,最终发现是材料中的某种微量杂质引起的问题。而这本书中关于痕量杂质分析的标准方法,为我指明了正确的方向,最终成功地找到了失效原因。这本书不仅是一份标准汇编,更是一份宝贵的失效分析经验总结,它极大地提升了我解决复杂技术问题的能力。
评分说实话,在翻阅《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》之前,我并没有对其抱有多大的期望。我接触过不少标准类书籍,很多都枯燥乏味,充斥着晦涩难懂的专业术语,而且往往缺乏实际可操作性。但这本书,却让我刮目相看。它以一种非常实用的视角,为我打开了半导体材料方法标准的大门。我最看重的是它在“方法”层面的深入挖掘。比如,书中关于晶圆缺陷检测的方法,不仅仅是笼统地说要检测缺陷,而是详细列出了不同的缺陷类型,以及针对每种缺陷所推荐的检测技术(如光学显微镜、扫描电镜、原子力显微镜等),并且对每种技术的应用场景、优势劣势、以及关键参数设置都给出了指导。这对于我这样需要进行复杂材料分析的工程师来说,简直是福音。我之前在处理一些材料性能异常时,常常陷入“盲人摸象”的困境,不知道该从何处下手。现在,我有了这本书作为指引,可以更有针对性地选择合适的测试方法,快速定位问题根源。此外,书中对不同半导体材料,如硅基、III-V族、II-VI族等,都有专门的标准方法介绍,这使得我在处理不同类型材料时,都能找到合适的参考。它不仅仅是一本标准汇编,更像是一份详细的操作手册,帮助我们把复杂的理论知识转化为实际可行的操作步骤,极大地提升了我们的工作效率和问题解决能力。
评分我对《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》这本书的价值,可以说是深有体会。在半导体这个快速发展的行业里,材料是基础,而标准的测试和表征方法,则是保证材料质量和性能的关键。这本书恰恰弥补了我在这个方面的知识短板。它系统地梳理和整合了2014年以来行业内公认的,关于半导体材料的各种方法标准。我最看重的是它在“方法”上的具体性和可操作性。书中对各种测试方法,如X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、以及各种电学性能测试等,都给出了非常详细的步骤说明、参数设置建议,甚至还附带了一些典型的测试结果图例。这对于我这样需要在实际工作中进行材料分析和质量控制的工程师来说,简直是如获至宝。我经常遇到这样的情况:在分析一些复杂的材料问题时,我需要花费大量的时间去查阅各种文献和资料,才能找到合适的测试方法。而有了这本书,我能够在一个地方找到所需的全部信息,极大地节省了我的时间,也提高了我的工作效率。这本书不仅仅是一份标准汇编,它更像是一本“工具箱”,里面装满了解决我们在半导体材料领域遇到的各种问题的“工具”。
评分我最近拿到手的这本《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》对我而言,简直是及时雨。最近公司正准备引入一批新的半导体材料,但市场上相关的测试和表征方法鱼龙混杂,很多供应商提供的测试报告,我们根本无法与之进行有效的对比和评估。我急需一套权威的、能够代表行业主流的方法标准来指导我们的评估工作。这本书的内容,特别是关于各种半导体材料(比如硅、砷化镓、氮化镓等)的物理、化学、电学性能测试方法,让我眼前一亮。它系统地罗列了从宏观尺寸到微观结构的各种检测手段,并且给出了具体的实验步骤、设备要求、以及数据处理的指导原则。这极大地弥补了我在这方面的知识盲区,也为我们建立内部的材料质量控制体系提供了宝贵的参考。我尤其欣赏的是它对“方法”的精细化拆解,不只是列出测试项目,而是深入到测试的每一个细节,这对于确保测试结果的准确性和可重复性至关重要。以前,我们常常因为对测试方法理解不深,导致测试结果出现不一致,或者无法准确地解读供应商提供的报告。有了这本书,我感觉自己就像拥有了一本“武功秘籍”,能够更清晰地理解各种测试方法背后的原理和操作要领,从而能够更有效地进行供应商筛选、材料入库检测,以及解决生产过程中出现的材料相关问题。这本书的价值,远超一本书籍本身,它代表了一种严谨、科学的工作态度和方法论,对于任何从事半导体材料研发、生产、品控的人员来说,都是一份不可多得的财富。
评分我最近有幸接触到《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》这本著作,它为我打开了一个全新的视角。在我过去的经验中,很多时候我们对半导体材料的理解,更多地停留在其宏观的性能参数和应用领域。而这本书,却将重点聚焦在“方法”层面,详细阐述了如何科学、严谨、有效地去测试、表征和评估这些材料。我尤其欣赏书中对各种测试设备的原理、操作流程以及数据分析方法的深入讲解。比如,书中关于半导体材料的掺杂浓度测试,不仅仅是列出几种测试方法,而是详细地对比了不同方法的优缺点、适用范围,以及具体的测试步骤和数据处理公式。这让我能够根据实际情况,选择最合适的测试方法,并且能够准确地解读测试结果。这对于我们进行新材料的开发和优化,非常有指导意义。我曾遇到过这样的情况:同一批次的材料,使用不同的测试方法,得出了略有差异的测试数据,导致我们无法准确地评估材料的性能。而有了这本书,我能够更清晰地理解这些差异产生的原因,并且能够通过采用更权威的标准方法,来确保测试结果的准确性。这本书不仅仅是一份技术参考,更是一种严谨的科学方法论的体现,它帮助我们从“知道”走向“做到”,从“猜测”走向“实证”,对于提升我们在半导体材料领域的专业能力,具有里程碑式的意义。
评分这本《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》真的让我眼前一亮。作为一名在半导体行业摸爬滚打多年的工程师,我深知标准的重要性。尤其是在方法标准层面,一套统一、严谨、可操作的测试和表征方法,是确保材料质量、保证产品良率、乃至推动整个行业技术进步的基石。我一直都在寻找这样一本能够系统梳理和整合行业内权威方法标准的工具书。过去,我们往往需要分散地从各种标准组织、科研论文、甚至内部积累中零散地获取信息,这不仅耗时耗力,而且容易出现理解偏差或标准冲突。而这本汇编,恰恰解决了这个痛点。它像一位经验丰富的向导,将那些分散在各处的、关乎半导体材料“如何做”、“如何测”的关键方法,一一收录,并进行了清晰的分类和编排。我特别看重的是它2014版的时效性,虽然半导体技术日新月异,但方法标准的稳定性往往有其周期性,2014版在当时无疑代表了行业内一个相对成熟和集成的标准体系。这本书为我提供了一个坚实的参考框架,让我在进行新材料的开发、现有材料的优化、以及与其他厂商的合作时,能够更加自信地采用业界公认的标准流程,减少了沟通成本,也提升了工作效率。尤其是在解决一些疑难杂症时,能够快速地找到对应的标准方法进行排查和验证,极大地缩短了问题解决周期。它不仅仅是一本工具书,更像是我们工作中的一位可靠伙伴。
评分这本《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》,对我来说,是一份非常及时的参考资料。作为一名在半导体材料领域有一定从业经验的研究人员,我一直都在寻求一套能够规范我们实验室测试流程、提高数据可信度的权威指南。市场上关于半导体材料的书籍不少,但大多数侧重于理论介绍或者新材料的应用,真正系统地梳理各种“方法标准”的却不多。这本书恰恰填补了这一空白。它聚焦于“方法”,详细地介绍了2014年行业内主流的半导体材料测试和表征方法,包括但不限于化学成分分析、晶体结构分析、电学性能测量、以及光学特性评价等。我特别欣赏书中对每一种方法的原理、适用范围、以及关键操作步骤的清晰阐述。例如,书中关于表面粗糙度测量的方法,详细对比了原子力显微镜(AFM)和轮廓仪等方法的特点,并给出了各自的测量参数和数据处理建议。这对于我们选择最适合当前研究需求的测试手段,具有重要的指导意义。我曾遇到过这样的情况:不同实验室的测试结果存在差异,导致我们难以对材料进行准确的评估。而有了这本书,我们可以统一采用行业标准方法,从而提高测试结果的一致性和可靠性。
评分这本书,即《半导体材料标准汇编(2014版) 方法标准 行标分册》,对于我这样一名刚刚踏入半导体行业的新人来说,简直是救星。我之前在学校学到的很多理论知识,到了实际工作中,发现和实际操作之间存在巨大的鸿沟。特别是在材料的性能测试和表征方面,我常常感到无从下手。当我拿到这本书时,我惊奇地发现,它就像是为我量身定做的。书中详细列出了各种半导体材料的标准测试方法,从基本的物理参数测量,到复杂的电学特性分析,再到微观形貌的表征,几乎涵盖了所有我可能遇到的情况。而且,它不像一些学术论文那样晦涩难懂,而是以一种清晰、条理分明的方式呈现,甚至给出了很多操作细节和注意事项。我印象最深的是关于硅片表面缺陷检测的部分,书中详细介绍了如何使用光学显微镜和扫描电子显微镜来识别不同类型的表面缺陷,并提供了相应的标准图像作为参考。这让我能够更快地熟悉和掌握这些关键的测试技术。这本书为我提供了一个坚实的理论基础和实践指导,让我能够更有信心去面对工作中遇到的各种技术挑战。它不仅让我学会了“怎么做”,更让我理解了“为什么这么做”,这对于我快速成长至关重要。
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