　　射频微机电系统技术是微机电系统的重要组成部分，《维纳制造的基础研究学术著作丛书：射频微机电系统的理论、设计、制备及应用》主要从理论、设计、加工、封装和应用等方面介绍射频微机电系统器件与系统，结合作者及其团队近年来在相关领域的研究成果，详细分析和阐述传输线、天线、可调电感、可变电容、开关、滤波器、移相器等核心器件的基本原理、主要类型、设计方法、加工技术、性能测试和典型应用等，为读者勾勒出射频微机电系统技术较为全面的技术基础、研究现状和发展趋势。
　　《维纳制造的基础研究学术著作丛书：射频微机电系统的理论、设计、制备及应用》可作为微米纳米技术领域高年级本科生、研究生和教师的参考用书，并可供相关的科技人员参考。

内页插图

《微纳制造的基础研究学术著作丛书》序
前言
第一章 RF MEMS
1.1 MEMS概述
1.2 RF MEMS简介
1.3 RF MEMS发展历史
1.4 RF MEMS常用工艺
1.4.1 体硅工艺
1.4.2 表面硅工艺
1.5 RF MEMS应用
1.5.1 在可重构电路中的应用
1.5.2 在手提式无线系统中的应用
1.5.3 在基站中的应用
1.5.4 在无线能量传输中的应用
参考文献
第二章 RF MEMS设计与仿真
2.1 ANSYS
2.1.1 主要功能
2.1.2 分析实例：平行板电容
2.2 CoventorWare
2.2.1 主要功能
2.2.2 分析实例：可调电容
2.3 IntelliSuite
2.3.1 主要功能
2.3.2 分析实例：RF开关
2.4 HFSS
2.4.1 主要功能
2.4.2 分析实例：矩形波导腔体天线
2.5 CSTMicrowave Studio
2.5.1 主要功能
……
第三章　RF MEMS传输线
第四章　RF MEMS电感
第五章　RF MEMS可变电容
第六章　RF MEMS开关
第七章　RF MEMS滤波器
第八章　RF MEMS移相器
第九章　RF MEMS天线
第十章　RF MEMS封装
索引

前言/序言

　　随着人们认识世界尺度的微观化，制造领域面临着面向极小化的挑战，其基础研究正经历着从可视的厘米、毫米尺度向基于分子、原子的纳米制造技术过渡。纳米制造科学是支撑纳米科技走向应用的基础。国家自然科学基金委员会（以下简称基金委）重大研究计划项目“纳米制造的基础研究”瞄准学科发展前沿、面向国家发展的重大战略需求，针对纳米精度制造、纳米尺度制造和跨尺度制造中的基础科学问题，探索制造过程由宏观进入微观时，能量、运动与物质结构和性能问的作用机理与转换规律，建立纳米制造理论基础及工艺与装备原理。重点研究范围包括基于物理／化学／生物等原理的纳米尺度制造、宏观结构的纳米精度制造、纳／微／宏（跨尺度）制造、纳米制造精度与测量、纳米制造装备新原理等。本重大研究计划旨在通过机械学、物理学、化学、生物学、材料科学、信息科学等相关学科的交叉与融合，探讨基于物理／化学／生物等原理的纳米制造新方法与新工艺，揭示纳米尺度与纳米精度下加工、成形、改性和跨尺度制造中的尺度效应、表面／界面效应等，阐明物质结构演变机理与器件的功能形成规律，建立纳米制造过程的精确表征与计量方法，发展若干原创性的纳米制造工艺与装备原理，为实现纳米制造提供坚实的理论基础，并致力提升我国纳米制造的源头创新能力。正如姚建年院士指出的那样：该重大研究计划意义重大，通过原始创新性研究，旨在推动机械工程学科在基础性、前沿性等方面不断进展，在国际上取得重要地位，在某一领域形成中国学派。同时，他强调了纳米制造研究内容的创新性、学科交叉性、项目实施的计划性等，并期望在基础研究领域产生重大突破，取得重大成果。
　　《微纳制造的基础研究学术著作丛书》是科学出版社依托基金委“纳米制造的基础研究”重大研究计划项目，经过反复论证之后组织、出版的系列学术著作。该丛书力争起点高、内容新、导向性强，体现科学出版社“三高三严”的优良作风。丛书作者都曾主持过重大研究计划“纳米制造的基础研究”项目或国家自然科学基金其他相关项目，反映该研究中的前沿技术，汇集纳米制造方面的研究成果，形成独特的研究思路和方法体系，积累丰富的经验，具有创新性、实用性和针对性。
　　《微纳制造的基础研究学术著作丛书》涉及近几年来我国围绕纳米制造科学的国际前沿、国家重大制造工程中所遇到的基础研究难题等方面所取得的主要创新研究成果，包括表面纳米锥的无掩模制造及光电特性，光刻物镜光学零件纳米精度制造基础研究，铜互联层表面的约束刻蚀化学平坦化新方法，大尺度下深纹纳米结构制造方法与机理表征，基于为加工技术的微纳集成制造原理及方法研究，微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究，微／纳光学阵列元件的约束刻蚀剂层加工技术与系统的基础研究，等等。
　　毫米制造技术的应用，带动了蒸汽工业革命，推动了英国的振兴；微米制造技术的发展，带来了信息工业革命，带领美国的崛起；纳米制造技术也必将引领第三次工业革命的浪潮，我国的纳米制造业若能把握住历史的机遇，必将屹立于浪潮之巅，为实现中华民族的伟大复兴贡献出强劲的力量。
　　作为基金委重大研究计划项目“纳米制造的基础研究”的指导专家组组长，我深信《微纳制造的基础研究学术著作丛书》的及时出版，必将推动我国纳米制造学科的深入发展，在难题攻克、人才培养、技术推动等方面发挥显著作用。同时，希望广大读者提出建议和指导，以促进丛书的出版工作。
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