纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

内容简介

　　《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》共分十二章，第1-8章分类介绍了几种主要的微纳加工技术，包括：光学曝光、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术、纳米压印技术、离子束技术、薄膜技术和自组装加工，即简要概述了各种加工方法的科学基础，又从实用出发，介绍了各种技术的主要工艺过程，特别涉及各种技术根据需要全新发展的一些创新方法；第9－12章按几个不同的领域，介绍了微纳加工技术在纳米材料与器件研究中的一些应用实例，包括电学、光学、磁学、生物等其它领域。这些成果深刻影响了当前纳米科学与技术的发展，希望能对从事相关领域研究的读者有所启发和借鉴。

作者简介

　　顾长志，1964年6月生于沈阳。1997年于吉林大学获得凝聚态物理专业博士学位。1997—1999年在德国夫琅禾费薄膜与表面工程研究所从事博士后研究，2000年在德国柏林自由大学物理系做高访学者，2004年在日本物质材料国家研究所从事合作研究。1998年被聘为吉林大学教授，2001年至今任中国科学院物理研究所研究员、博士生导师，并任技术部主任、微加工实验室主任。2000年获教育部”跨世纪人才”称号，2001年入选中国科学院“百人计划”，2007年获中国物理学会“胡刚复物理奖”，2008年获得“国家杰出青年基金”。曾主持和承担国家重大和重点项目6项。
　　长期从事纳米材料与纳米结构的可控制备、新奇物性和器件应用方面的研究，获得了一系列研究成果。在Nature子刊、Phys. Rev. Lett.，，Am.Chem，Soc.，Nano　Lett.，Adv. Mater.等学术刊物上发表论文200余篇，获发明专利授权20余项，完成国家鉴定（验收）项目5项。

内页插图

目录

《纳米科学与技术》丛书序
前言
第1章 光学曝光
1.1 光学曝光系统的基本组成
1.2 光学曝光的基本原理与特征
1.2.1 光学曝光的基本模式与原理
1.2.2 光学曝光的过程
1.2.3 分辨率增强技术
1.3 短波长光学曝光技术
1.3.1 深紫外与真空紫外曝光技术
1.3.2 极紫外曝光技术
1.3.3 X射线曝光技术
1.3.4 LIGA加工技术
1.4 光学曝光加工纳米结构
1.4.1 泊松亮斑纳米曝光技术
1.4.2 表面等离激元纳米曝光技术
1.4.3 基于双层图形技术的纳米加工
1.5 光学曝光加工三维微纳结构
1.5.1 灰度曝光技术
1.5.2 基于欠曝光的三维曝光技术
1.5.3 基于菲涅耳衍射与邻近效应的三维曝光技术
参考文献

第2章 电子束曝光技术
2.1 电子束曝光系统组成
2.1.1 电子枪
2.1.2 透镜系统
2.1.3 电子束偏转系统
2.2 电子束曝光系统的分类
2.2.1 扫描模式
2.2.2 束形成
2.3 电子束抗蚀剂
2.3.1 电子束抗蚀剂的性能指标
2.3.2 电子束抗蚀剂制作图形工艺
2.3.3 常用电子束抗蚀剂及其工艺过程
2.3.4 特殊的显影工艺
2.3.5 多层抗蚀剂工艺
2.3.6 理想抗蚀剂剖面的加工
2.4 电子束与固体的相互作用及邻近效应
2.4.1 电子束与固体的相互作用
2.4.2 邻近效应及校正
2.5 充电效应及解决方法
2.5.1 引入导电膜
2.5.2 变压电子束曝光系统
2.5.3 临界能量电子束曝光
2.6 三维结构的制备
2.6.1 平整衬底上三维结构的加工
2.6.2 三维衬底上图形的制备
2.7 电子束曝光分辨率
2.8 新型的电子束曝光技术
2.8.1 投影电子束曝光
2.8.2 微光柱阵列电子束曝光
2.8.3 反射电子束曝光
参考文献

第3章 聚焦离子束加工技术
3.1 聚焦离子束系统的基本组成
3.2 聚焦离子束的基本功能与原理
3.2.1 离子束成像
3.2.2 离子束刻蚀
3.2.3 离子束辅助沉积
3.2.4 FIB的传统应用
3.3 聚焦离子束的三维纳米加工
3.3.1 FIB刻蚀加工三维结构
3.3.2 FIB沉积加工三维结构
3.3.3 FIB辐照加工直维结构
参考文献

第4章 激光加工技术
第5章 纳米压印技术
第6章 刻蚀技术
第7章 薄膜技术
第8章 自组装加工
第9章 微纳加工在电学领域的应用
第10章 微纳加工在光学领域的应用
第11章 微纳加工在磁学领域的应用
第12章 微纳加工在其他领域的应用

前言/序言

好的，以下是根据您的要求，为您构思的一份图书简介，其内容与您提供的书名《纳米科学与技术：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》无关，并且力求自然流畅、信息丰富。 --- 图书名称：《古罗马城市规划与社会生活变迁：从共和时代到帝国鼎盛期》 内容简介 本书深入剖析了古罗马城市从公元前3世纪共和时代早期崛起至公元2世纪帝国鼎盛时期这一漫长历史阶段中，城市规划理念的演进、空间结构的重塑及其与社会阶层、政治权力、日常经济活动之间的复杂互动关系。它不仅仅是一部建筑史或考古学著作，更是一部融合了历史学、社会学、人类学视角的综合性研究，旨在揭示罗马城邦（Urbs）及其广布地中海世界的殖民城市（Coloniae）如何通过物质形态的构建，反映并塑造了罗马人的集体身份与生活方式。 第一部分：共和时代的基石与早期扩张（公元前3世纪—前1世纪） 本部分首先回溯了罗马城（Roma Urbs）在早期扩张过程中的空间管理特征。重点探讨了军事营地（Castrum）模式在意大利半岛及新征服地区城市布局中的标准性影响。我们分析了“正交网格系统”（Grid System）的引入及其在意大利城邦如波佐利（Puteoli）和帕多瓦（Patavium）等地的早期实践。不同于希腊的有机生长模式，罗马城市规划初期的核心驱动力是军事效率、行政管理便利性以及对新入籍公民的有效控制。 深入研究了早期罗马公共空间的核心——广场（Forum）的形成过程。广场不仅仅是政治集会的场所，更是宗教仪式、法律审判和市场交易的复合中心。通过对福鲁姆·罗曼姆（Forum Romanum）的考古发掘和文献梳理，我们考察了早期元老院（Curia）和神庙的相对位置如何确立了精英阶层的权威叙事。社会层面，本章关注了公共水利设施（Aquaeductus）和排水系统（Cloaca Maxima）的建设，这些基础设施的普及程度如何初步划分了不同社会阶层在城市中的居住质量。 第二部分：奥古斯都的城市革命与“罗马化”进程（公元前1世纪—公元1世纪） 奥古斯都时代的到来标志着罗马城市建设进入了一个由中央强力主导、意识形态色彩浓厚的阶段。本章的核心在于分析“奥古斯都的城市化”战略，即如何通过大规模的公共建筑项目（如浴场、剧院、纪念性拱门）来彰显帝国的和平（Pax Romana）与繁荣。 我们详细考察了“宏大叙事”在城市空间中的体现。例如，纪念碑的选址、铭文的内容选择，如何系统性地重塑了公民对历史的集体记忆，并将对皇帝的个人崇拜融入日常景观。对周边行省城市的比较研究显示，城市规划不再仅仅是实用主义的体现，更是罗马文化优越性的符号输出。在塔拉科（Tarraco，今塔拉戈纳）和卢格杜努姆（Lugdunum，今里昂）等城市，标准的罗马基础设施（如剧院的建造规格、城市供水网络的铺设密度）被严格复制，促进了地方精英对罗马生活方式的认同。 第三部分：帝国鼎盛期的空间分化与社会阶层隔离（公元1世纪—2世纪） 随着帝国财富的积累和人口的激增，城市内部的空间结构开始显现出更为显著的阶层分化与功能分区。本部分聚焦于“垂直空间”与“私人空间”的研究。 住宅建筑方面，我们对比了富裕阶层私家“豪宅”（Domus）中精美的壁画、马赛克装饰与仆从居住区域的简朴，以及平民和底层劳动者聚居的“公寓楼”（Insulae）的拥挤、消防隐患和生活条件。通过对庞贝和赫库兰尼姆的案例分析，展示了这些不同尺度的居住空间如何直接反映了罗马社会的财富不平等。 公共领域的研究转向了专业化与功能分区。例如，港口城市（如奥斯蒂亚）的仓库区、商业区（Macellum）与居住区的明确划分；以及大型公共浴场（Thermae）——不仅仅是清洁设施，更是重要的社交中心——如何成为不同阶层（尽管仍有等级划分）得以共享的半公共空间。我们探讨了“地下空间”的利用，如贮藏室和下水道，它们作为支撑上层光鲜生活的隐秘基础，是如何被系统性地纳入城市运作的。 第四部分：非罗马化区域的城市适应与文化张力 最后，本书将目光投向了帝国边缘地带，审视罗马化城市模式在面对既有地方文化时的适应与冲突。在埃及的亚历山大港，希腊化的规划与埃及传统的神庙轴线如何共存；在不列颠的伦丁尼姆（Londinium），如何整合凯尔特人的聚落习惯。这部分讨论了城市规划作为一种软权力工具，其有效性不仅取决于强制推行，更依赖于对地方习俗的巧妙吸纳与重塑。 通过对数个典型城市案例的深入解剖，本书试图描绘出一幅多层次、动态变化的罗马城市图景——一个由石头、混凝土、水流和权力构建的复杂有机体，深刻地映射出罗马帝国从一个军事化共和国向一个高度集权、等级森严的帝国的社会本质转变。读者将能够从街道的走向、建筑的尺度和公共设施的分布中，重新解读罗马人如何“建造”他们的世界，以及这个世界如何反过来定义了他们的生活和命运。 ---