發表於2024-11-17
圖書基本信息,請以下列介紹為準 | |||
書名 | 化閤物半導體加工中的錶徵 | ||
作者 | (美)布倫德爾 等 | ||
定價 | 68.00元 | ||
ISBN號 | 9787560342818 | ||
齣版社 | 哈爾濱工業大學齣版社 | ||
齣版日期 | 2014-01-01 | ||
版次 | 1 |
其他參考信息(以實物為準) | |||
裝幀:平裝 | 開本:16開 | 重量:0.4 | |
版次:1 | 字數: | 頁碼: |
插圖 | |
目錄 | |
內容提要 | |
化閤物半導體加工中的錶徵一書是為使用化閤物半導體材料與設備的科學與工程師準備的,他們並不是錶徵專。在研發與GaAs、GaA1As、LnP及HgCdTe基設備的製造中通常使用的材料與工藝提供常見的分析問題實例。這本布倫德爾、埃文斯、麥剋蓋爾編著的《化閤物半導體加工中的錶徵》討論瞭各種錶徵技術,深入瞭解每種技術是如何單獨或結閤使用來解決與材料相關的問題。這本書有助於選擇並應用適當的分析技術在材料與設備加工的各個階段,如:基體處理、外延生長、絕緣膜沉積、接觸組、摻雜劑的引入。 |
編輯推薦 | |
作者介紹 | |
序言 | |
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