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化合物半导体加工中的表征 (美)布伦德尔等下载 mobi epub pdf 电子书 2024

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美布伦德尔等著

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发表于2024-05-18

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图书介绍

店铺：典则俊雅图书专营店

出版社：哈尔滨工业大学出版社

ISBN：9787560342818

商品编码：29853980983

包装：平装

出版时间：2014-01-01

图书描述

图书基本信息,请以下列介绍为准
书名	化合物半导体加工中的表征
作者	(美)布伦德尔等
定价	68.00元
ISBN号	9787560342818
出版社	哈尔滨工业大学出版社
出版日期	2014-01-01
版次	1

其他参考信息（以实物为准）
装帧：平装	开本：16开	重量：0.4
版次：1	字数：	页码：

插图

目录

内容提要

化合物半导体加工中的表征一书是为使用化合物半导体材料与设备的科学与工程师准备的，他们并不是表征专。在研发与GaAs、GaA1As、LnP及HgCdTe基设备的制造中通常使用的材料与工艺提供常见的分析问题实例。这本布伦德尔、埃文斯、麦克盖尔编著的《化合物半导体加工中的表征》讨论了各种表征技术，深入了解每种技术是如何单独或结合使用来解决与材料相关的问题。这本书有助于选择并应用适当的分析技术在材料与设备加工的各个阶段，如：基体处理、外延生长、绝缘膜沉积、接触组、掺杂剂的引入。