店鋪： 典則俊雅圖書專營店
齣版社： 科學齣版社
ISBN：9787030268624
商品編碼：29793786099
包裝：平裝
齣版時間：2010-03-01
具體描述
| 圖書基本信息,請以下列介紹為準 | |||
| 書名 | 用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 | ||
| 作者 | (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 | ||
| 定價 | 35.00元 | ||
| ISBN號 | 9787030268624 | ||
| 齣版社 | 科學齣版社 | ||
| 齣版日期 | 203-01 | ||
| 版次 | 1 | ||
| 其他參考信息（以實物為準） | |||
| 裝幀：平裝 | 開本：16開 | 重量：0.640 | |
| 版次：1 | 字數： | 頁碼： | |
| 插圖 | |
| 目錄 | |
| 內容提要 | |
| 碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等，越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注，不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的一本係統論述碳化矽微機電係統的著作，作者是來自英、美從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者，他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀，匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。 《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀，也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。 |
| 編輯推薦 | |
| 作者介紹 | |
| 序言 | |
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