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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 (英)张,王晓浩,唐飞,王文弢下载 mobi epub pdf 电子书 2024

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英张，王晓浩，唐飞，王文弢著

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发表于2024-11-11

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图书介绍

店铺：典则俊雅图书专营店

出版社：科学出版社

ISBN：9787030268624

商品编码：29793786099

包装：平装

出版时间：2010-03-01

图书描述

图书基本信息,请以下列介绍为准
书名	用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
作者	(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢
定价	35.00元
ISBN号	9787030268624
出版社	科学出版社
出版日期	203-01
版次	1

其他参考信息（以实物为准）
装帧：平装	开本：16开	重量：0.640
版次：1	字数：	页码：

插图

目录

内容提要

碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英、美从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。
　　《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读，也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。