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出版社： 西安电子科技大学出版社
ISBN：9787560633350
商品编码：29722927054
包装：平装
出版时间：2014-08-01
具体描述
基本信息
书名:微机电技术
定价：50.00元
售价：34.0元,便宜16.0元,折扣68
作者:田文超,娄利飞著
出版社：西安电子科技大学出版社
出版日期：2014-08-01
ISBN：9787560633350
字数：
页码：
版次：1
装帧：平装
开本：16开
商品重量：0.4kg
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内容提要
田文超、娄利飞编著的《微机电技术》系统地介 绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要应用，包 括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用， RF MEMS及重构天线，MEMS力学问题等。书中包含大 量图、表，研究成果及相关结论，内容丰富。
本书可供高年级本科生和研究生使用，也可以作 相关工程技术人员及科技管理人员的参考书。
目录
作者介绍
文摘
序言
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