　　《電子顯微分析》作為學習電子顯微分析技術的入門書，主要介紹透射電子顯微術（電子衍射、質厚襯度像、衍射襯度像）、掃描電子顯微術（包括背散射電子衍射和環境掃描顯微鏡）、電子探針和微分析（能譜與波譜）以及掃描探針顯微術（掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡），還定性介紹瞭高分辨電子顯微術、會聚束衍射、微衍射、電子能量損失譜、能量過濾像、掃描透射顯微術、電子全息術、電子三維重構像和原位透射電鏡技術。此外，書中對目前透射電子顯微鏡的新進展——球差校正透射電鏡技術作瞭簡要介紹。
　　《電子顯微分析》是一本將電子顯微學理論和應用密切結閤，兼顧不同層次讀者群的專業基礎，課教材，適用於材料、物理、化學、化工、桃械、微電子、土木、生物、醫學等學科的本科生或研究生，也可作為非電子顯微學專業人員的參考書。

作者簡介

　　章曉中，牛津大學材料係博士（1989年，國傢公費生）。The Royal Institution of Great Britain博士後研究員（1989-1992年）。新加坡國立大學物理係研究員、講師、高級講師（1992-1999年），1999年起任清華大學材料係教授（博導）.現任清華大學電鏡室主任、先進材料教育部重點實驗室副主任、全國納米技術標委會副主任委員，中國分析測試協會谘詢委員會委員、全國微束分析標委會委員。主要研究興趣納米材料與納米結構、磁阻與超導材料、電子顯微學、計算材料學，發錶SCI論文100多篇。

內頁插圖

第1章電子光學基礎
1．1 分辨率
1．2 磁透鏡的聚焦原理
1．2．1 電子在均勻磁場中的運動
1．2．2 短磁透鏡
1．2．3 磁透鏡的設計
1．3 電子光學作圖成像法
1．4 電子透鏡的像差
1．4．1 球差
1．4．2 畸變
1．4．3 像散
1．4．4 色差
1．5 磁透鏡的理論分辨率

第2章透射電子顯微鏡
2．1 透射電子顯微鏡發展簡史
2．2 透射電子顯微鏡的基本結構
2．3 照明係統
2．3．1 電子槍
2．3．2 照明係統和偏轉係統
2．4 成像係統
2．4．1 透射電鏡的成像原理
2．4．2 物鏡
2．4．3 中間鏡和投影鏡
2．5 像的觀察與記錄係統
2．5．1 熒光屏
2．5．2 照相底片
2．5．3 視頻攝像機
2．5．4 慢掃描CCD照相機
2．5．5 成像闆
2．6 試樣颱和試樣架
2．7 透射電鏡的真空係統
2．8 透射電鏡的電子部分和其他部分
2．9 電子顯微鏡的閤軸調整
2．9．1 照明係統的閤軸與消像散
2．9．2 成像係統的閤軸與消像散
2．9．3 物鏡聚焦的調整
2．10 透射電鏡的樣品製備
2．10．1 粉末樣品的製備
2．10．2 薄膜樣品的製備
2．10．3 超薄切片法
2．10．4 復型
2．10．5 界麵試樣的製備
2．10．6 聚焦離子束方法
2．10．7 真空蒸塗方法
2．10．8 試樣的保存和觀察時的注意事項

第3章電子與物質的相互作用
3．1 電子的彈性散射
3．2 電子的非彈性散射
3．2．1 特徵X射綫
3．2．2 二次電子
3．2．3 背散射電子
3．2．4 俄歇電子
3．2．5 陰極熒光
3．2．6 透射電子
3．2．7 等離子體激發
3．2．8 聲子激發
3．3 輻照損傷
……

第4章電子衍射
第5章復雜電子衍射譜
第6章透射顯微術電子像襯度原理
第7章掃描電子顯微鏡
第8章電子探針顯微分析儀和微分析
第9章其他顯微分析方法

實驗
附錄
參考文獻

前言/序言

　　本書是清華大學百門精品課程電子顯微分析的教材，它適閤於工科院校本科生的電子顯微學課程教學和非電子顯微學專業人員參考。
　　筆者1985-1989年在牛津大學材料係攻讀博士學位，修瞭P.B.Hirsch教授的Diffraction課和M.J.Goringe博士的Transmission Electron Microscopy課，筆者的研究生導師G.W.Groves博士培養瞭筆者如何用電子顯微分析技術進行材料研究，引領筆者步入電子顯微學的殿堂。
　　1999年鞦，筆者迴國來清華大學材料科學與工程係任教授，開始講授電子顯微分析課。該課程是清華大學材料係大四學生的必修課（48學時），它的後續課程是研究生課程電子顯微學。2002年，電子顯微分析課人選清華大學百門精品課程的重點建設課程，教學語言也從中文改為瞭英文。在本精品課教學組的硃靜院士和袁俊教授的鼓勵與支持下，筆者萌生瞭自己編一本能反映21世紀電子顯微學發展水平又適閤材料類本科生一學期電鏡課教學的中文教科書，經過3年的努力和在清華大學一年的教學試用，纔有瞭現在的這本教科書。
　　本書內容分為9章。第1章先介紹電子顯微學的基礎——電子光學的基本知識，重點介紹磁透鏡的原理，各種像差的成因以及它們的校正方法。第2章闡述瞭透射電子顯微鏡的結構和工作原理，重點介紹瞭透射電鏡的成像係統。由於能否得到好的電鏡照片的關鍵之一是電鏡試樣製備的好壞，該章詳細介紹瞭各種透射電鏡樣品的製備，以及一些最新的樣品製備方法，如聚焦離子束方法。電鏡的各種圖像和信號實際上是電子與物質的相互作用的結果，故第3章介紹瞭電子與物質的相互作用及産生的各種信號，以及它們在電子顯微術中的應用。第4章介紹瞭透射電子顯微術的基本技術之一——電子衍射，重點介紹選區電子衍射以及簡單電子衍射譜的標定。第5章進一步介紹一些常見的復雜電子衍射譜（孿晶譜、高階勞厄帶、菊池綫）及其標定。第6章介紹瞭透射電子顯微術的另一基本技術——電子像，重點介紹瞭質厚襯度像和衍射襯度像。第7章介紹瞭掃描電鏡的結構與它的各種成像機製，還介紹瞭目前用得越來越多的背散射電子衍射和環境掃描顯微鏡。第8章介紹瞭電子探針顯微分析儀和微分析，重點介紹瞭在透射電鏡和掃描電鏡上都可用的能譜技術，還介紹瞭影響微分析區域大小和準確度的一些主要因素。第9章簡單介紹瞭高分辨電子顯微術、會聚束衍射、微衍射、電子能量損失譜、能量過濾像、掃描透射顯微術，還介紹瞭傳統上不被認為是電子顯微鏡技術的掃描探針顯微鏡，因為它們在納米科技的研究上用得越來越普遍。該章還介紹瞭在一般的電鏡教科書裏很少提及的電子全息術、電子三維重構像、原位透射電鏡技術，還對目前透射電子顯微術的最新進展——球差校正透射電子顯微術作瞭簡要介紹。
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