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MEMS材料与工艺手册

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林斌彦 著

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发表于2025-03-10

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图书介绍

出版社： 东南大学出版社
ISBN：9787564140533
版次：1
商品编码：11489686
包装：平装
开本：16开
出版时间：2014-03-01
页数：966

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图书描述

内容简介

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。

前言/序言


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用户评价

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很满意，物流没的说

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东西不错

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还不错但是一定要十个字以上就不太好了……

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很好，字迹清晰，下次会再来！

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书看起来还不错。专业书价格都比较贵。

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mems材料工艺，科技书籍

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