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硅加工中的表征

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美布伦协尔 等 著

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发表于2024-04-27

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图书介绍

店铺： 广影图书专营店
出版社： 哈尔滨工业大学出版社
ISBN：9787560342801
商品编码：29703544728
包装：平装
出版时间：2014-01-01

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图书描述

基本信息

书名：硅加工中的表征

定价：88.00元

作者：(美)布伦协尔 等

出版社：哈尔滨工业大学出版社

出版日期：2014-01-01

ISBN：9787560342801

字数：

页码：

版次：1

装帧：平装

开本：16开

商品重量：0.4kg

编辑推荐

内容提要

《硅加工中的表征》是材料表征原版系列丛书之一。全书共分六章，内容包括：材料表征技术在硅外延生长中的应用；多晶硅导体；硅化物；铝和铜基导线；级钨基导体；阻隔性薄膜。本书适合作为相关领域的教学、研究、技术人员以及研究生和高年级本科生的参考书。

目录

作者介绍

文摘

序言


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