基本信息
書名:矽加工中的錶徵
定價:88.00元
作者:(美)布倫協爾 等
齣版社:哈爾濱工業大學齣版社
齣版日期:2014-01-01
ISBN:9787560342801
字數:
頁碼:
版次:1
裝幀:平裝
開本:16開
商品重量:0.4kg
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內容提要
《矽加工中的錶徵》是材料錶徵原版係列叢書之一。全書共分六章,內容包括:材料錶徵技術在矽外延生長中的應用;多晶矽導體;矽化物;鋁和銅基導綫;級鎢基導體;阻隔性薄膜。本書適閤作為相關領域的教學、研究、技術人員以及研究生和高年級本科生的參考書。
目錄
作者介紹
文摘
序言
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