店铺： 天启发行图书专营店
出版社： 东南大学出版社
ISBN：9787564140533
商品编码：29533020119
包装：平装
出版时间：2014-03-01
具体描述
基本信息
书名：MEMS材料与工艺手册
定价：198.00元
作者：(美)格迪斯,(美)林斌彦,黄庆安
出版社：东南大学出版社
出版日期：2014-03-01
ISBN：9787564140533
字数：
页码：
版次：1
装帧：平装
开本：16开
商品重量：0.4kg
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内容提要
微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著，内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺，MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。
目录
作者介绍
文摘
序言
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