基本信息
書名:納米級CMOS超大規模集成電路可製造性設計
定價:58.00元
作者:(美)Sandip Kundu等著
齣版社:科學齣版社
齣版日期:2014-04-01
ISBN:9787030400345
字數:
頁碼:
版次:1
裝幀:平裝
開本:16開
商品重量:0.4kg
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內容提要
《納米級CMOS超大規模集成電路可製造性設計》的內容包括:CMOSVLSI電路設計的技術趨勢;半導體製造技術;光刻技術;工藝和器件的擾動和缺陷分析與建模;麵嚮可製造性的物理設計技術;測量、製造缺陷和缺陷提取;缺陷影響的建模和閤格率提高技術;物
目錄
作者介紹
文摘
序言
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