出版社： 上海科学技术出版社
ISBN：9787547809808
版次：1
商品编码：11003031
包装：平装
出版时间：2012-07-01
页数：252
具体描述
内容简介
《MOS集成电路工艺与制造技术》全面介绍了MOS集成电路工艺和制造技术。内容包括：硅晶圆衬底，氧化，扩散，离子注入，外延，化学汽相淀积，光刻，付蚀与刻蚀等，PNOS，NMOS，CMOS，LV HV兼容CMOS等制造工艺。前言/序言
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